
日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 一、產品簡介
CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒,增強了葉片強度、減輕了轉子重量,縮短了啟動時間,降低了機械損耗,增加了使用壽命。
日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數曲圖
日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 三、主要性能指標
| 型號 | CFB-3600 | |
| 進氣口法蘭 | — | 
 | 
| 排氣口法蘭 | — | LF100 | 
| 抽氣速率 | L/s | 3600 | 
| 壓縮比N2/H2 | — | 1×108/5×102 | 
| 極限壓強 | Pa | 2×10-6 | 
| 電機轉速 | rpm | 12600 | 
| 啟動時間 | min | <10 | 
| 停機時間 | min | <20 | 
| 振動值 | μm | ≤0.15 | 
| 前極泵 | L/s | 30-70 | 
| 冷卻水溫度 | ℃ | ≤25 | 
| 泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | 
| 冷卻水流量 | L/min | 1 | 
| 安裝方向 | — | 垂直±5° | 
| 重量 | kg | ~100 |