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日本ULVAC CFB-1300Z脂潤滑分子泵技術參數

發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1288次

日本ULVAC CFB-1300Z脂潤滑分子泵 一、產品簡介

        CFB-Z系列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內*的變截面葉齒,軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實現了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環境,廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。

 

日本ULVAC CFB-1300Z脂潤滑分子泵 二、產品特點

        

  • 由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
  • 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承,可以實現泵的任意角度安裝。

 

日本ULVAC CFB-1300Z脂潤滑分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-1300Z

進氣口法蘭

LF200

CF200

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

1300

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機轉速

rpm

24000

振動值

μm

≤0.1

啟動時間

min

<6

使用軸承

脂潤滑陶瓷軸承

前極泵

L/s

8-15

冷卻方式

水冷(風冷)

冷卻水溫度

≤25

環境溫度

<40

冷卻水流量

L/min

1

安裝方向

任意角度

重量

kg

~27

 


三、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 

CFB系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

 CFB-1300Z安裝尺寸

 

型號規格

CFB-1300Z

高真空法蘭

LF200

CF200

D1

Ф240

Ф253

D2

Ф267

Ф267

D3

245

245

L1

101

101

H1

327

327

H2

267

267

H3

98.5

98.5

H4

252

252




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