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日本ULVAC CFB-1200復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時間: 2015-12-29  點擊次數(shù): 1094次

日本ULVAC CFB-1200復(fù)合分子泵 一、產(chǎn)品簡介

        復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵,是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強(qiáng)時抽速大、壓縮比高的特點,擴(kuò)展了分子泵的應(yīng)用范圍,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、航天航空、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。

 

 日本ULVAC CFB-1200復(fù)合分子泵 二、產(chǎn)品特點

        復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng);由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

 

 日本ULVAC CFB-1200復(fù)合分子泵 三、主要性能指標(biāo)

 

型號

CFB-1200

訂貨號

3153

3154

進(jìn)氣口法蘭

LF200

CF200

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

1200

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強(qiáng)

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

24000

啟動時間

min

<5

振動值

μm

≤0.1

前極泵

L/s

8-15

冷卻水溫度

≤20

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<600

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~34

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

 

CFB系列復(fù)合分子泵安裝尺寸表

 

型號規(guī)格

CFB-1200

進(jìn)氣口法蘭

LF200

CF200

D1

Ф240

Ф253

D2

Ф267

Ф267

D3

□167.6

□167.6

L1

142

142

L2

152

152

H1

393

393

H2

108

108

H3

135.5

135.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

聯(lián)


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