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日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵技術參數

發布時間： 2015-12-29　　點擊次數： 1652次

日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 一、特性

 

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實現操作運行。

• 可實現高極限真空。

• 低振動低噪音。

• 維護周期可通過計時表控制。

 

日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 二、應用

 

• 分析設備

• 氣體回收系統

• 涂料設備

• TMP 前級泵

• 氦滲漏探測器

• 半導體制造工藝

 

日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 三、規格參數

 

 

單位

50Hz

60Hz

實際抽速

L/min

500

600

極限壓力

Pa

1.0

馬達

單相

 

100/115/200/230V, 600W, 4P, 電容啟動運行

 

三相

 

200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P

滿載電流

單相

A

8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)

2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415V)

 

三相

 

10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V)

2.8/2.5/2.5/1.47
(200/208/230/460V)

重量

單相

kg

44.0

 

三相

 

38.0

進出氣管道直徑

 

進氣管KF-40　出氣管 KF-25

環境溫度

°C

5 – 40

水蒸氣處理

g/天

≤25 (A.F. 開啟)

尺寸

單相

mm

290(W) × 443(L) × 397(H)

 

三相

 

290(W) × 372(L) × 397(H)

 

 

四、外形圖

 

 

五、泵數曲線

 

六、對應電壓與認證

 

電壓

現行電壓

CE 認證

CSA 認證

單相, 100V, 200V, 230V
115V (60Hz)

標準

 ●

●

三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) 
200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)

標準

      ●

      ●

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